夏菁菁
- 教师英文名称： Jingjing Xia
- 教师拼音名称： Xia Jingjing
- 学历： 博士研究生毕业
- 学位： 博士学位
- 毕业院校： 同济大学
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Surface Morphology Evolution during Chemical Mechanical Polishing Based on Microscale Material Removal Modeling for Monocrystalline Silicon
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影响因子：3.748
所属单位：物理科学与工程学院
发表刊物：MATERIALS
刊物所在地：ST ALBAN-ANLAGE 66, CH-4052 BASEL, SWITZERLAND
关键字：chemical; chemical–mechanical polishing; mechanical polishing; monocrystalline silicon; power spectral density; removal mechanism; roughness
第一作者：夏菁菁
论文类型：期刊论文
卷号：15
期号：16
是否译文：否
发表时间：2022-01-01
收录刊物：PUBMED、WOS、SCOPUS、EI、CNKI