邓晓，同济大学物理科学与工程学院长聘副教授，国家高层次青年人才，博士生导师，国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）副主任。读博期间曾赴美国国家标准与技术研究院NIST公派留学两年。先后入选中国科协“第六届青年人才托举工程”、 上海市“科技创新行动计划”启明星人才、上海市“东方英才”（青年）等。

研究方向为集成电路计量测试技术，包括集成电路标准物质、铬原子光刻、超精密光频梳、光栅干涉仪、计量仪器、晶圆级标准片、MOEMS相对重力仪与加速度计等方面。作为项目负责人主持国家重点研发计划项目、面上项目多项。研制国家一级标准物质5项（包含中国首个纳米角度一级标准物质），国家二级标准物质2项，发表SCI论文50余篇；申请美国发明专利3项（授权1项）；申请中国发明专利23项（授权9项）。

集成电路计量测试科研成果获2024年上海市科技进步奖一等奖（排名第2）、2024年中国计量测试学会科技进步奖一等奖（排名第2）。

作为上海市教委“集成电路计量测试技术”研究生专项班与本科生微专业建设具体负责人，主要开展《集成电路计量测试》、《普通物理》等课程教学，先后获2023年同济大学青年教师教学竞赛一等奖、2024年获上海市高等学校物理基础课程青年教师讲课比赛特等奖、2024年同济大学“教书育人先进奖”—英才新秀奖、2025年全国高等学校物理基础课程青年教师讲课比赛（华东地区复赛）特等奖。

同时担任全国新材料与纳米计量技术委员会委员、上海市计量测试学会力学分会主任委员、中国仪器仪表学会集成电路测量与仪器分会委员、《红外与激光工程》与《计量学报》期刊青年编委等。

国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）网站：

https://cyjl.nim.ac.cn/nmtcics

集成电路计量测试技术课题组网站：

https://ipoe.tongji.edu.cn/Research/Res_Areas/ONM.htm

个人电子邮箱：18135@tongji.edu.cn