张哲
- 教师英文名称： ZheZhang
- 教师拼音名称： zhangzhe
- 职务： Assistant Professor
- 学历： 博士研究生毕业
- 学位： 博士学位
- 毕业院校： 同济大学
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>>研究方向
极紫外与X射线多层膜器件与系统
围绕我国强场诊断、分析仪器、集成电路等领域的重大需求，持续开展“极紫外与X射线多层膜器件与系统”方向的研究。重点聚焦多层膜界面工程技术及器件、高精度多层膜厚度控制技术、极紫外与X射线光学系统与应用等研究方向。