同济大学主页平台管理系统张哲--中文主页-- 极紫外与X射线多层膜器件与系统

张哲

访问量：0000019036

开通时间：..

最后更新时间：..

当前位置: 中文主页 >>研究方向

极紫外与X射线多层膜器件与系统

围绕我国强场诊断、分析仪器、集成电路等领域的重大需求，持续开展“极紫外与X射线多层膜器件与系统”方向的研究。重点聚焦多层膜界面工程技术及器件、高精度多层膜厚度控制技术、极紫外与X射线光学系统与应用等研究方向。