同济大学主页平台管理系统张哲--中文主页-- Fabrication and characterization of TiO2 and SiO2 as protective coating for Mo/Si multilayer by ion beam sputtering

个人信息

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张哲

助理教授（长聘体系）

助理教授（长聘体系）硕士生导师

职务：Assistant Professor

学历：博士研究生毕业

学科：物理学

招生学科：物理学

同专业硕导

论文成果

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Fabrication and characterization of TiO2 and SiO2 as protective coating for Mo/Si multilayer by ion beam sputtering

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影响因子：3.9
所属单位：物理科学与工程学院
发表刊物：Vacuum
论文类型：期刊论文
通讯作者：张哲
卷号：238
ISSN号：0042-207X
是否译文：否
发表时间：2025-01-01
收录刊物：CNKI、EI、WOS、SCOPUS

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