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张哲

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Improving Thickness Uniformity of Mo/Si Multilayers on Curved Spherical Substrates by a Masking Technique

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DOI码：10.3390/coatings9120851

所属单位：物理科学与工程学院

发表刊物：Coatings

论文类型：期刊论文

论文编号：851

学科门类：理学

文献类型：J

卷号：9

期号：12

是否译文：否

发表时间：2019-12-12

收录刊物：SCI(E)

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