极紫外与X射线多层膜器件与系统
围绕我国强场诊断、分析仪器、集成电路等领域的重大需求，持续开展“极紫外与X射线多层膜器件与系统”方向的研究。重点聚焦多层膜界面工程技术及器件、高精度多层膜厚度控制技术、极紫外与X射线光学系统与应用等研究方向。
ZheZhang
助理教授（长聘体系）
Supervisor of Master's Candidates
Administrative Position: Assistant Professor
Education Level: Doctor′s Degree graduated
Degree: Doctor Degree
Professional Title: 助理教授（长聘体系）
Alma Mater: Tongji University
Research Focus
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