2021年中国仪器仪表学会科学技术发明奖一等奖
Release time:2022-06-12
Hits:
Title of Achievement:大尺寸高效率极紫外与X射线薄膜器件技术及应用
Affiliation of Participants:物理科学与工程学院
Granted by:中国仪器仪表学会
Level of Award:Association Award - Other
Grade of Award:First prize
Date of Award:2021-01-01
Number of Participants:6
- Prev One:2022年度上海市科技进步奖二等奖