同步辐射光源channel-cut晶体窄缝的游离微珠辅助化学机械抛光研究
Affiliation of Participant(s):机械与能源工程学院
Leading Scientist:wangkun
Status:结题
Note:上海市自然科学基金项目
Classification of Project:纵向项目
Nature of Project:主持
Project Number:kz0100020210465
Date of Project Approval:2021-07-05
Scheduled completion time:2024-11-13
Date of Project Completion:2024-06-30
Date of Project Initiation:2021-07-01
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